
沈天慧(1923年4月27日一2011年1月2日),浙江嘉善人,分析化學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)家,中國(guó)科學(xué)院院士,生前是上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院研究員。
基本資料
詳細(xì)介紹
沈天慧1949年畢業(yè)于上海大同大學(xué)化工系;1957年一1959年留學(xué)蘇聯(lián)進(jìn)修半導(dǎo)體材料;1966年一1986年任航天工業(yè)部七七一研究所第七研究室主任;1980年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員(院士);1987年一2009年任上海交通大學(xué)教授;2011年1月2日在上海逝世,享年88歲。
沈天慧主要微機(jī)電系統(tǒng)研究,稀土鐵礦以及鉬礦分析,超純硅制備,半導(dǎo)體材料及航天用大規(guī)模集成電路研制,磁頭磁盤(pán)及電磁型微馬達(dá)的研究工作。